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国林科技:单台臭氧发生器侧重为ALD提供稳定臭氧气源

2026年09月11日 22:11
 

证券之星消息,国林科技(300786)08月17日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:请问公司,为什么在贵司年报里的产品介绍中,贵司单台半导体级臭氧发生器是用作ALD,而集成4台臭氧发生器的半导体级臭氧气体输送系统又是用作ALE,这同样都是臭氧发生器,为何具体作用不一样?能否解释一下吗?

国林科技回复:尊敬的投资者,您好。ALD、ALE 均会使用臭氧作为反应气源,二者工艺原理不同。单台臭氧发生器侧重为 ALD 提供稳定臭氧气源;ALE 工艺对臭氧通量、供气连续性要求更高,因此采用多台集成的输送系统配置,通过多机组协同满足 ALE 工艺工况需求,设备硬件本体同源,应用差异源于下游工艺工况不同。感谢您的关注。